说白一点,就是比如阿斯麦在光源和硅片之间,要放水作为介质,并且还要给硅片上涂抹光刻胶来防止电子逃逸。
而这家公司的光科技术,就是在光源和硅片之间,放上一层掩膜来替代水和光刻胶。
与此同时,他们也不用激光做光源,因为激光的光源非常规,而且对工作环境要求非常苛刻。
他们就使用电子束来作为光源,透过掩膜进行光刻。
这样做的好处,就是成本比极紫外线光刻大大降低了很多。
不过缺点也很明显,那就是高耗能,并且光刻的速度会很慢,比起阿斯麦的EUV光刻速度,要慢60倍。
所以虽然这家公司的很多创意,即便是阿斯麦都非常垂涎,但因为产品竞争力较弱。
所以在市场上也仅仅就是有一定知名度的小众产品。
而且随着阿斯麦在获得鹰酱的资本,还有特极点等诸多芯片制造企业的技术加持之后,成长速度飞快。
迅速占领了超过百分之七十的光刻机市场,这就让的日子更加难过了。
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